SNUEI

나노 공정(나노제작) nanofabrication

키워드 · 소재·나노·화학

2연구단 논문
3교수
1,038억 국가 R&D(2015–24)
+30%증가율
4.94%서울대 비중

리소그래피·식각 등으로 나노미터 크기의 구조를 제작하는 기술이다.

연도별 연구단 논문

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국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)

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2015–2024 과제 레코드 491건 · 10년 1,038억 · 2015–19 대비 2020–24 +30% · 대학 수행 56.9% · 서울대(본교) 4.94%. 매칭: 영문 키워드 'nanofabrication', 국문 '나노공정', '나노패터닝', '나노가공'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.

매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 반도체 소자·회로 10% · 기계 > 나노/마이크로기계시스템 9% · 기계 > 나노/마이크로 기계시스템 9% · 화공 > 나노 화학공정기술 8%

최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)

연도과제수행기관부처억
2024AI·데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스 활용체계 구축나노종합기술원과학기술정보통신부36.2
2024양자 집적 광소자 공정 인프라 및 개방형 서비스 플랫폼 구축울산과학기술원과학기술정보통신부21.6
2023나노광소자 패터닝용 30nm급 인라인 UV 나노임프린터 개발(주)기가레인산업통상자원부11.0
2022자성 다중-순차 멀티봇 기반 신경망재건 플랫폼 기술 개발(재)대구경북과학기술원과학기술정보통신부10.0
2022화합물반도체 기반 광융합 소자 나노인프라 구축광주과학기술원과학기술정보통신부10.0
2023초고굴절률 나노성형소재기반 메타표면을 활용한 비전검사시스템(주)미르기술산업통상자원부10.0
2023푸리에 역계산을 활용한 소재 형상 제어 및 광학 소자 개발고려대학과학기술정보통신부9.8
2023초고해상도 구현을 위한 OLED 디스플레이용 메타 표면 구조 설계제조 기술 개발한국기계연구원산업통상자원부9.0

교수

교수학과논문2022년 이후
김성재전기정보공학부10
남기태재료공학부11
남좌민화학부11

함께 나오는 키워드

이온농도분극(ICP)

연결되는 NTIS 분류

에너지/자원만에너지·환경·원자력 확장

없음

논문 (최신순)

연도논문SNUEI 저자피인용
2025Nanofabrication for Nanophotonics
ACS Nano
남기태, 남좌민134
2014Ultra-high-aspect-orthogonal and tunable three dimensional polymeric nanochannel stack array for BioMEMS applications
Nanoscale
김성재31

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Nanofabrication for Nanophotonics · Ultra-high-aspect-orthogonal and tunable three dimensional polymeric n