TMAH 분해 tetramethylammonium hydroxide degradation
키워드 · 물·환경·자원순환
3연구단 논문
1교수
6억 국가 R&D(2015–24)
소규모증가율
0.00%서울대 비중
반도체 공정 폐수의 독성 물질인 수산화테트라메틸암모늄을 산화 공정으로 분해하는 일이다.
연도별 연구단 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 5건 · 10년 6억 · 2015–19 대비 2020–24 소규모 · 대학 수행 47.7% · 서울대(본교) 0.00%. 매칭: 영문 키워드 'tetramethylammonium hydroxide degradation', 국문 'TMAH', '수산화테트라메틸암모늄'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 화공 > 화학제품 51% · 환경 > 폐기물 관리 및 자원순환 44% · 환경 > 물관리 4%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2024 | 폐바이오매스 유래 지방산 고부가가치화를 통한 반도체 공정 TMAH 폐수 처리 기술 개발: 기계학습이 결합된 효율 예측 및 공정 최적화 연구 | 국립창원대학 | 과학기술정보통신부 | 2.4 |
| 2022 | 고성능 반도체 package향 photoresist 제거용 Non TMAH 박리 공정 개발 | 켄스코(주) | 중소벤처기업부 | 1.9 |
| 2024 | 3D 바이오 프린팅 복합 미생물 담체를 이용한 Tetramethyl ammonium hydroxide(TMAH) 제거 연구 | 세종대학 | 교육부 | 0.1 |
| 2024 | 하이드레이트 기반 정화 기술을 활용한 반도체 폐수 속 수산화테트라메틸암모늄 제거에 관한 연구 | 숭실대학 | 교육부 | 0.1 |
교수
| 교수 | 학과 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 이창하 | 화학생물공학부 | 3 | 3 |
함께 나오는 키워드
과황산염 활성화 UV/과산화수소 공정 오존 처리 하이드록실 라디칼(·OH) 황산 라디칼
연결되는 NTIS 분류
에너지/자원만에너지·환경·원자력 확장
물관리 3
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