경사각 증착(GLAD) glancing angle deposition
방법 · 공정·제작
3연구단 논문
1교수
9억 국가 R&D(2015–24)
소규모증가율
0.00%서울대 비중
기판을 큰 각도로 기울여 증착해 기둥형 나노구조 박막을 형성하는 물리 증착 기법이다.
연도별 연구단 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 13건 · 10년 9억 · 2015–19 대비 2020–24 소규모 · 대학 수행 80.3% · 서울대(본교) 0.00%. 매칭: 영문 키워드 'glancing angle deposition', 국문 '경사각증착'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 반도체장비 32% · 재료 > 세라믹재료 17% · 재료 > 고분자재료 16% · 화학 > 전기화학 14%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2024 | 이온 이동 기반 고성능 반도체 소자 구현을 위한 산화물 나노 구조체 증착 및 표면 코팅 장비 구축 | 성균관대학 | 과학기술정보통신부 | 2.9 |
| 2022 | 2차원 조촉매 물질 및 3차원 스캐폴드로 이루어진 복합계층 나노구조 시스템 기반의 광전기화학적 이산화탄소 환원 촉매 개발 | 포항공과대학 | 과학기술정보통신부 | 0.4 |
교수
| 교수 | 학과 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 차석원 | 기계공학부 | 3 | 3 |
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에너지/자원만에너지·환경·원자력 확장
신재생에너지 3
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