플라즈마 원자층 증착(PEALD) plasma-enhanced atomic layer deposition

방법 · 공정·제작

10연구단 논문

1교수

46억 국가 R&D(2015–24)

소규모증가율

0.43%서울대 비중

플라즈마로 반응성을 높여 저온에서도 원자층 단위 박막을 증착하는 기술이다.

연도별 연구단 논문

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국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)

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2015–2024 과제 레코드 40건 · 10년 46억 · 2015–19 대비 2020–24 소규모 · 대학 수행 60.6% · 서울대(본교) 0.43%. 매칭: 영문 키워드 'plasma enhanced atomic layer deposition', 국문 '플라즈마원자층증착', 'PEALD'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.

매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 반도체장비 37% · 기계 > 에너지/환경기계시스템 12% · 전기/전자 > 반도체소자 및 시스템 10% · 재료 > 열/표면처리 9%

최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)

연도	과제	수행기관	부처	억
2023	수직형 배치 ALD 증착 장비에 적용 가능한 고밀도 플라즈마 소스 개발	(주)씨엔원	중소벤처기업부	2.4
2023	PE-ALD 공정용 고주파전원공급장치(RF Generator) 및 임피던스정합장치(RF Matcher)	(주)에이에스엔지니어링	산업통상자원부	2.3
2022	공정 플라즈마 이온 에너지 제어 기술 개발 통한 차세대 원자층 복합 공정에의 활용과 전고체 연료전지 및 배터리 적용에 관한 연구	서울과학기술대학	과학기술정보통신부	2.0
2023	고성능 Spatial PEALD 기반 전도성 및 가스 배리어 일체형 필름 개발	(주)대기하이텍	중소벤처기업부	1.9
2022	고성능 대면적 전자소자 제작을 위한 2차원 소재 선택적 복합 표면 활성화 기술과 플라즈마 원자층 박막 증착 공정 기술 개발	서울과학기술대학	산업통상자원부	1.0
2022	차세대 플라즈마 원자층증착을 이용한 고품질 자기정렬다중패터닝 spacer 원천 기술 개발	한양대학	산업통상자원부	1.0
2022	차세대 기능성 나노 성막 생산제조 시스템 개발	조선대학	과학기술정보통신부	1.0
2024	고성능 Spatial PEALD 기반 전도성 및 가스 배리어 일체형 필름 기술의 사업화 추진을 위한 IP고도화 및 상용화	충북대학	과학기술정보통신부	0.6

교수

교수	학과	논문	2022년 이후
차석원	기계공학부	10	2

연결되는 NTIS 분류

에너지/자원만에너지·환경·원자력 확장

신재생에너지 10

논문 (최신순)

연도	논문	SNUEI 저자	피인용
2023	Corrosion behavior of Ta and TiN double-layer-coated SUS316L for PEMFC bipolar plates using plasma-enhanced atomic layer deposition and magnetron sputtering 신재생에너지 › 연료전지 Journal of Alloys and Compounds	차석원	19
2022	Operating Cost Savings in the Atomic Layer Deposition Process of Ultrathin Electrolyte for Solid Oxide Fuel Cells by Applying Oxygen Plasma 신재생에너지 › 연료전지 International Journal of Precision Engineering and Manufacturing	차석원	8
2020	Enhanced performance of nanostructured thin film anode through Pt plasma enhanced atomic layer deposition for low temperature solid oxide fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 International Journal of Hydrogen Energy	차석원	16
2019	Optimization of Y2O3 dopant concentration of yttria stabilized zirconia thin film electrolyte prepared by plasma enhanced atomic layer deposition for high performance thin film solid oxide fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 Energy	차석원	29
2019	Effects of Nanoscale PEALD YSZ Interlayer for AAO Based Thin Film Solid Oxide Fuel Cells 신재생에너지 › 연료전지 International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology	차석원	22
2018	Effect of plasma-enhanced atomic layer deposited YSZ inter-layer on cathode interface of GDC electrolyte in thin film solid oxide fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 Renewable Energy	차석원	33
2016	Effect of anode morphology on the performance of thin film solid oxide fuel cell with PEALD YSZ electrolyte 신재생에너지 › 연료전지 International Journal of Hydrogen Energy	차석원	36
2016	PEALD YSZ-based bilayer electrolyte for thin film-solid oxide fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 Nanotechnology	차석원	29
2015	Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Nanoscale Yttria-Stabilized Zirconia Electrolyte for Solid Oxide Fuel Cells with Porous Substrate 신재생에너지 › 연료전지 ACS Applied Materials & Interfaces	차석원	117
2015	Properties of nanostructured undoped ZrO2 thin film electrolytes by plasma enhanced atomic layer deposition for thin film solid oxide fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films	차석원	24

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