펄스 레이저 증착(PLD) pulsed laser deposition
방법 · 공정·제작
고출력 펄스 레이저로 타깃을 증발시켜 기판에 조성이 제어된 박막을 증착하는 공정이다.
연도별 연구단 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 53건 · 10년 49억 · 2015–19 대비 2020–24 소규모 · 대학 수행 100.0% · 서울대(본교) 10.47%. 매칭: 영문 키워드 'pulsed laser deposition', 국문 '펄스레이저증착'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 물리학 > 응집물질물리 28% · 재료 > 세라믹재료 15% · 재료 > 기타 재료 14% · 물리학 > 응집 물질 물리 11%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2024 | 무독성, 저비용 소재 기반 인공 나뭇잎형 광전기화학적 탠덤 소자 및 고압 수소 생산 시스템 개발 | 한국과학기술원 | 과학기술정보통신부 | 3.5 |
| 2024 | 저차원 산화물 양자물질 연구 수행을 위한 Laser-MBE 장비 구축 | 부산대학 | 과학기술정보통신부 | 3.0 |
| 2024 | 프리스탠딩 박막을 기반한 새로운 이종 구조의 물리적 특성에 관한 실시간 원자 단위 연구 | 서울대학 | 과학기술정보통신부 | 2.4 |
| 2022 | 단결정형 HfO2 기반 강유전 박막을 이용한 비휘발 FET 단위소자 개발 | 서울대학 | 과학기술정보통신부 | 1.2 |
| 2022 | 단결정 광전극의 결정면, 스트레인, 헤테로구조 제어에 따른 물성 변화 연구 | 광주과학기술원 | 과학기술정보통신부 | 1.0 |
| 2024 | 결정사이트 제어에 의한 알루미네이트 기반 페로브스카이트산화물(ABAlO4) 박막의 광 물성 연구 | 국립부경대학 | 과학기술정보통신부 | 0.9 |
| 2022 | 델라포사이트 박막의 자기적 특성 조절 | 부산대학 | 과학기술정보통신부 | 0.7 |
| 2023 | 희토류원소가 첨가된 더블페로브스카이트(AA'BB'O6) 산화물 박막의 구조 및 광물성 연구 | 부경대학 | 과학기술정보통신부 | 0.6 |
교수
| 교수 | 학과 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 차석원 | 기계공학부 | 4 | 2 |
| 이윤석 | 기계공학부 | 1 | 1 |
연결되는 NTIS 분류
신재생에너지 4
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | SNUEI 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2026 | In situ CuxO nanodecoration via rapid sputtering for tailoring surface nanostructure of oxygen electrodes 신재생에너지 › 연료전지 International Journal of Hydrogen Energy | 차석원 | 0 |
| 2024 | Nanoscale Graded Nitrogen‐Doping of TiO 2 via Pulsed Laser Deposition for Enhancing Charge Transfer in Perovskite Solar Cells 신재생에너지 › 태양광 Small | 이윤석 | 7 |
| 2024 | Nanostructured thin film SrCo0.8Nb0.1Ta0.1O3-δ cathode for low-temperature solid oxide fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 International Journal of Hydrogen Energy | 차석원 | 3 |
| 2019 | Pulsed laser deposition of BaCo0.4Fe0.4Zr0.1Y0.1O3-δ cathode for solid oxide fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 Surface and Coatings Technology | 차석원 | 20 |
| 2015 | Parametric study of Y-doped BaZrO3 thin film deposited via pulsed laser deposition Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films | 차석원 | 13 |
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논문 5
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