주사전자현미경(SEM) scanning electron microscopy
방법 · 실험·측정·분석
4연구단 논문
4교수
309억 국가 R&D(2015–24)
신규증가율
3.66%서울대 비중
전자빔으로 시료 표면을 주사해 미세 형상과 조성을 고배율로 관찰하는 현미경이다.
연도별 연구단 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 151건 · 10년 309억 · 2015–19 대비 2020–24 신규 · 대학 수행 22.6% · 서울대(본교) 3.66%. 매칭: 영문 키워드 'scanning electron microscopy', 국문 '주사전자현미경'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 반도체장비 20% · 전기/전자 > 광응용기기 12% · 전기/전자 > 계측기기 10% · 기계 > 나노/마이크로기계시스템 7%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2024 | 대면적/고심도 영역 검사가 가능한 MI-SEM 계측ㆍ검사장비 원천기술 개발 | (재)한국전자기계융합기술원 | 과학기술정보통신부 | 25.0 |
| 2024 | 광-전자빔 기반 반도체 첨단 패키징 측정분석 장비기술 개발 | (재)한국표준과학연구원 | 산업통상자원부 | 19.3 |
| 2023 | 벌크시료 관찰 가능 10 meV 분해능 반사형 전자에너지 손실 분광장비 핵심기술 개발 | (재)한국표준과학연구원 | 과학기술정보통신부 | 13.0 |
| 2022 | 3차원 측정이 가능한 고분해능 전계방사형 전자현미경 컬럼 개발 | (주)에스에프에이 | 산업통상자원부 | 8.2 |
| 2022 | 냉전계방출 주사전자 현미경용 전자총 및 제어시스템의 개발 | (주)모듈싸이 | 과학기술정보통신부 | 7.5 |
| 2024 | 광전 소자의 성능 및 수명 제어를 위한 초고속 4차원 주사전자현미경 (SUEM) 이미징 시스템 구축 | 서울대학 | 과학기술정보통신부 | 5.0 |
| 2024 | 전고체전지 소재 및 전극의 기계적/전기적 물성 변화 동시관찰을 위한 나노역학 플랫폼 장비 구축 | 서울대학 | 과학기술정보통신부 | 3.8 |
| 2023 | 나노 측정 장비의 성능 보증을 위한 나노구조 인증표준물질 개발 | (주)킴스레퍼런스 | 과학기술정보통신부 | 3.5 |
교수
| 교수 | 학과 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 박정원 | 화학생물공학부 | 1 | 0 |
| 오규덕 | 농림생물자원학부 | 1 | 0 |
| 박상욱 | 기계공학부 | 1 | 0 |
| 정훈영 | 에너지자원공학과 | 1 | 1 |
연결되는 NTIS 분류
에너지/자원만에너지·환경·원자력 확장
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | SNUEI 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2026 | Chemo-Mechanical Degradation Mechanisms of Shale Minerals Induced by CO2–Water–Rock Interactions: A Targeted Nanoindentation Study under Different CO2 Partial Pressures Energy & Fuels | 정훈영 | 0 |
| 2021 | Operando Study of Thermal Oxidation of Monolayer MoS 2 자원탐사/개발/활용 › 광물자원 개발 Advanced Science | 박상욱 | 96 |
| 2018 | Characterization of Paper Coating Structure Using FIB and FE-SEM. 1. New Method for Image Analysis Industrial & Engineering Chemistry Research | 오규덕 | 14 |
| 2017 | Precise Identification of Graphene’s Crystal Structures by Removable Nanowire Epitaxy The Journal of Physical Chemistry Letters | 박정원 | 12 |
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논문 4
Operando Study of Thermal Oxidation of Monolayer MoS 2 · Precise Identification of Graphene’s Crystal Structures by Removable N · Characterization of Paper Coating Structure Using FIB and FE-SEM. 1. N · Chemo-Mechanical Degradation Mechanisms of Shale Minerals Induced by C