Deposition rate dependent phase/mechanical property evolution in zirconia and ceria-zirconia thin film by EB-PVD technique

저자

P. Arunkumar, Aarthi Uthayakumar, M. Sribalaji, Biswajyoti Mukherjee, Anup Kumar Keshri, Waqas Hassan Tanveer, 차석원 (Suk Won), K. Suresh Babu

연구주제

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NTIS 과학기술표준분류

지원 과제·AI 키워드로 잡을 근거가 없어 분류하지 않았다.

AI 연구 키워드·방법

ceria stabilized zirconia tetragonal phase stabilization zirconia thin film

electron beam physical vapor deposition

키워드 (OpenAlex)

zirconia thin films ceria-stabilized zirconia electron beam physical vapor deposition deposition rate tetragonal phase stabilization monoclinic-tetragonal phase transformation hardness plastic deformation

초록

이 논문을 지원한 국가R&D 과제 (NTIS 성과)

NTIS 성과DB(2020–24)에서 DOI 매칭 없음