High-throughput manufacturing of epitaxial membranes from a single wafer by 2D materials-based layer transfer process

저자

Hyunseok Kim, Yunpeng Liu, Kuangye Lu, Celesta S. Chang, Dongchul Sung, Marx Akl, Kuan Qiao, Ki Seok Kim, Bo‐In Park, Menglin Zhu, Jun Min Suh, Jekyung Kim, Jekyung Kim, Junseok Jeong, Yongmin Baek, You Jin Ji, Sungsu Kang, Sangho Lee, Ne Myo Han, Chansoo Kim, Chanyeol Choi, Xinyuan Zhang, Hyeong-Kyu Choi, Yanming Zhang, Haozhe Wang 외 15명

연구주제

2D Materials and Applications · GaN-based semiconductor devices and materials · Graphene research and applications

NTIS 과학기술표준분류

가장 가까운 분류(전기/전자 > 반도체 소자·회로 > 반도체 재료)가 에너지·환경·원자력 확장 범위 밖이다.

AI 연구 키워드·방법

freestanding semiconductor membrane 층 전사 원격 에피택시

키워드 (OpenAlex)

layer transfer free-standing membranes two-dimensional materials mechanical exfoliation compound semiconductors III-V substrates epitaxial growth heterogeneous integration

초록

이 논문을 지원한 국가R&D 과제 (NTIS 성과)

연도	과제	부처	사업	수행기관	NTIS 분류(1순위)
2023	야누스 2차원 반도체의 밸리스핀트로닉스 기초연구실	과학기술정보통신부	집단연구지원	세종대학	범위 밖
2023	화공분야연구인력양성사업단	교육부	4단계두뇌한국21사업	서울대학	–
2023	나노입자의 합성과 의료, 에너지 분야 응용	과학기술정보통신부	기초과학연구원연구운영비지원(주요사업비)	기초과학연구원	–
2023	GRI-TPC 국제공동연구센터	과학기술정보통신부	해외우수연구기관유치	세종대학	범위 밖