스퍼터 증착 sputter deposition
방법 · 공정·제작
플라즈마 이온으로 타깃을 때려 튀어나온 원자를 기판에 쌓아 박막을 만드는 물리 증착 공정이다.
연도별 연구단 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 308건 · 10년 789억 · 2015–19 대비 2020–24 -1% · 대학 수행 11.5% · 서울대(본교) 0.00%. 매칭: 영문 키워드 'sputter deposition', 국문 '스퍼터링', '스퍼터증착'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 디스플레이 37% · 재료 > 열/표면처리 15% · 전기/전자 > 반도체장비 10% · 전기/전자 > 전기전자부품 6%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2023 | 디스플레이용 고순도 Mo 및 Mo합금 스퍼터링 타겟 기술개발 | (주)이엠엘 | 산업통상자원부 | 12.2 |
| 2023 | 디스플레이용 고순도 Al과 Al 합금용 스퍼터 타겟 제조기술 개발 | (주)나이스엘엠에스 | 산업통상자원부 | 11.2 |
| 2022 | 대량의 미세분말 코팅을 위한 인라인 스퍼터링 및 원자층 증착 복합 코팅 장비 개발 | (주)아이작리서치 | 산업통상자원부 | 10.0 |
| 2023 | UHD 디스플레이용 16um 피치급 양면 COF 핵심소재 및 제조기술 개발 | (주)엡솔 | 산업통상자원부 | 9.8 |
| 2023 | 디스플레이용 LCD 8세대 OLED 6세대 및 반도체용 300 mm Ti 스퍼터링 타겟 제조를 위한 고품위 Ti 빌렛 및 타겟 제조기술 개발 | (주)지오엘리먼트 | 산업통상자원부 | 8.6 |
| 2023 | 글로벌 시장 진출을 위한 10종 컬러 금속질감 고경도 고광택 자동차 그릴 건식복합 표면처리기술 개발 | (주)셀코스 | 산업통상자원부 | 7.8 |
| 2024 | 전기방사 및 sputtering 기술 기반 금속코팅 탄소소재 수전해용 가스확산층(PTL) 개발 | (주)뉴처 | 산업통상자원부 | 4.9 |
| 2024 | 48V급 발열 내구성을 갖는 투명한 금속 박막코팅 복합재 개발 | (주)케이씨씨글라스 | 산업통상자원부 | 4.8 |
교수
| 교수 | 학과 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 차석원 | 기계공학부 | 35 | 13 |
연결되는 NTIS 분류
신재생에너지 33
논문 (최신순)
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