화학 기상 증착(CVD) chemical vapor deposition

방법 · 공정·제작

13연구단 논문 (이 키워드 8 + 하위 키워드)

4교수

1,842억 국가 R&D(2015–24)

+44%증가율

0.70%서울대 비중

기체 전구체의 화학반응을 이용해 기판 위에 박막이나 나노소재를 성장시키는 공정이다.

하위 키워드

이 키워드를 포함하는 더 구체적인 키워드. 위 논문 수·교수·연도별 그래프는 이들을 합친 값이다.

유기금속 화학기상증착(MOCVD) 5

연도별 연구단 논문

14151617181920212223242526

국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)

15161718192021222324

2015–2024 과제 레코드 731건 · 10년 1,842억 · 2015–19 대비 2020–24 +44% · 대학 수행 26.6% · 서울대(본교) 0.70%. 매칭: 영문 키워드 'chemical vapor deposition', 국문 '화학기상증착', 'CVD'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.

매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 디스플레이 14% · 재료 > 세라믹재료 14% · 전기/전자 > 반도체장비 12% · 전기/전자 > 반도체소자 및 시스템 7%

최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)

연도	과제	수행기관	부처	억
2024	디스플레이 TFT 게이트 절연막 형성을 위한 화학 기상 증착 챔버 세정 공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정기술 개발	(주)에프알디	산업통상자원부	21.5
2023	8.5세대 부하물 350Kg 이상 작동거리 7m 이상의 OLED 마스크 및 유리기판 이송용 진공로봇 개발	(주)티로보틱스	산업통상자원부	20.8
2023	화합물반도체 에피센터 구축	(재)한국나노기술원	과학기술정보통신부	20.0
2023	IT 디스플레이의 LTPO용 절연막 증착을 위한 고밀도 플라즈마 CVD 증착 시스템 및 공정기술 개발	(주)원익아이피에스	산업통상자원부	19.7
2024	고균일 (파장 균일도 ≤ ±2㎚) LED 특성을 위한 단일 클러스터형 6인치급 질화물 고온 성장용 MOCVD 장비 기술 개발	한국세라믹기술원	산업통상자원부	18.7
2023	8세대 고밀도 플라즈마 CVD용 상하부 모듈 기술 개발	(주)티티에스	산업통상자원부	15.3
2022	시스템 반도체용 Low k 스마트 PECVD 증착장비 및 공정 개발	(주)테스	산업통상자원부	13.3
2023	2D 반데르발스 물질 기반 다채널 GAA-FET 향 소재/공정/소자 기술 개발	성균관대학	과학기술정보통신부	10.1

교수

교수	학과	논문	2022년 이후
이철호	전기정보공학부	6	4
최장욱	화학생물공학부	5	0
전누리	기계공학부	1	0
차석원	기계공학부	1	0

연결되는 NTIS 분류

에너지/자원만에너지·환경·원자력 확장

전지 5 신재생에너지 1

논문 (최신순)

연도	논문	SNUEI 저자	피인용
2025	Wafer-Scale Homogenous Growth of Tungsten Disulfide via Promoter-Assisted Metal–Organic Chemical Vapor Deposition ACS Materials Letters	이철호	2
2024	Direct Measurement of the Thermal Expansion Coefficient of Epitaxial WSe2 by Four-Dimensional Scanning Transmission Electron Microscopy ACS Nano	이철호	11
2022	Large Memory Window of van der Waals Heterostructure Devices Based on MOCVD‐Grown 2D Layered Ge4Se9 Advanced Materials	이철호	39
2022	Visualizing Grain Statistics in MOCVD WSe2 through Four-Dimensional Scanning Transmission Electron Microscopy Nano Letters	이철호	22
2018	Ultrastable Graphene‐Encapsulated 3 nm Nanoparticles by In Situ Chemical Vapor Deposition 전지 › 이차전지 Advanced Materials	최장욱	38
2017	Graphene balls for lithium rechargeable batteries with fast charging and high volumetric energy densities 전지 › 전지재료 Nature Communications	최장욱	209
2017	Durable graphene-coated bipolar plates for polymer electrolyte fuel cells 신재생에너지 › 연료전지 International Journal of Hydrogen Energy	차석원	41
2017	Direct observation of grain boundaries in chemical vapor deposited graphene Carbon	이철호	29
2017	Single crystalline ZnO radial homojunction light-emitting diodes fabricated by metalorganic chemical vapour deposition Nanotechnology	이철호	11
2016	Engineering structures and functions of mesenchymal stem cells by suspended large-area graphene nanopatterns 2D Materials	전누리	16
2015	Silicon carbide-free graphene growth on silicon for lithium-ion battery with high volumetric energy density 전지 › 이차전지 Nature Communications	최장욱	564
2015	Self-Terminated Artificial SEI Layer for Nickel-Rich Layered Cathode Material via Mixed Gas Chemical Vapor Deposition 전지 › 이차전지 Chemistry of Materials	최장욱	66
2015	Graphene Coating of Silicon Nanoparticles with CO2‐Enhanced Chemical Vapor Deposition 전지 › 이차전지 Small	최장욱	33

인접 그래프

노드 hover = 이웃 강조 · 1회 클릭 = 고정 · 고정된 노드 다시 클릭 = 페이지 이동

이 문서와 연결된 페이지